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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)x

  • 產(chǎn)品型號(hào):C15151-01
  • 產(chǎn)品廠商:其它品牌
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC15151-01
詳情介紹:

HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC15151-01

應(yīng)用:高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。(測(cè)量范圍:玻璃:1 nm 至 20 μm,硅:0.43 nm 至 8.6 μm)

Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C15151-01 是一種利用光譜干涉法的非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)。這種大功率、高度穩(wěn)定的白光源支持**測(cè)量薄膜厚度,即使是超薄薄膜也是如此。此外,光源的使用壽命為 10,000 小時(shí),適用于在線操作。


特點(diǎn)

?用于超薄薄膜測(cè)量(玻璃:1 nm 起,硅:0.43 nm 起)

?高精度(測(cè)量可再現(xiàn)性:≤ 0.1 nm)*測(cè)量 2 nm 厚度的二氧化硅 (SiO2) 時(shí)

?使用大功率白光源

?使用壽命長(zhǎng)(維護(hù)周期:1 年以上)

?支持 PLC 連接

?縮短周期時(shí)間(高達(dá) 200 Hz)

?涵蓋寬波長(zhǎng)范圍(200 nm 至 790 nm)

?軟件中添加了簡(jiǎn)化的測(cè)量

?能夠同時(shí)進(jìn)行表面分析

?在距離存在波動(dòng)的條件下提高測(cè)量穩(wěn)定性

?分析光學(xué)常數(shù)(n、k)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品編號(hào) C15151-01
測(cè)量薄膜厚度范圍 玻璃*1:1 nm 至 20 μm
*2:0.43 nm*3 至 8.6 μm
測(cè)量可再現(xiàn)性 玻璃 *4*5:0.1 nm
*6:1 nm
測(cè)量精度*5 *7 ±0.4 %
光源 大功率白光源
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 200 nm 至 790 nm
光斑尺寸*5 約 Φ1 mm
工作距離 *5 10 mm 起
可測(cè)量層數(shù) *多 10 層
分析 FFT 分析、擬合分析、光學(xué)常數(shù)分析
*短的節(jié)拍時(shí)間 < 2 ms/point
外部通信接口 以太網(wǎng)
輸出信號(hào) 模擬輸出:0 V 至 10 V/高阻抗 3 通道(*多 3 層)
警報(bào)輸出:TTL/高阻抗單通道
警告輸出:TTL/高阻抗單通道
輸入信號(hào) 測(cè)量開始信號(hào):TTL/高阻抗單通道
電源電壓 AC100 V 至 AC240 V,50 Hz/60 Hz
功耗 約 130 VA
光導(dǎo)連接器形狀 FC

*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*2 當(dāng)以玻璃折射率 3.67 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*3 這是轉(zhuǎn)換為硅折射率的計(jì)算值 (3.67)。

*4 測(cè)量 2 nm 厚玻璃薄膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)。

*5 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。

*6 測(cè)量 30 μm 厚標(biāo)準(zhǔn)具時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(容差)。

*7 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。

尺寸