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PRODUCT CENTER
HAMAMATSU濱松晶圓玻璃薄膜厚度測(cè)量?jī)xC15151-01
應(yīng)用:高速測(cè)量晶圓、玻璃和薄膜的厚度。(測(cè)量范圍:玻璃:1 nm 至 20 μm,硅:0.43 nm 至 8.6 μm)
Optical NanoGauge 膜厚測(cè)量系統(tǒng) C15151-01 是一種利用光譜干涉法的非接觸式膜厚測(cè)量系統(tǒng)。這種大功率、高度穩(wěn)定的白光源支持**測(cè)量薄膜厚度,即使是超薄薄膜也是如此。此外,光源的使用壽命為 10,000 小時(shí),適用于在線操作。
特點(diǎn)
?用于超薄薄膜測(cè)量(玻璃:1 nm 起,硅:0.43 nm 起)
?高精度(測(cè)量可再現(xiàn)性:≤ 0.1 nm)*測(cè)量 2 nm 厚度的二氧化硅 (SiO2) 時(shí)
?使用大功率白光源
?使用壽命長(zhǎng)(維護(hù)周期:1 年以上)
?支持 PLC 連接
?縮短周期時(shí)間(高達(dá) 200 Hz)
?涵蓋寬波長(zhǎng)范圍(200 nm 至 790 nm)
?軟件中添加了簡(jiǎn)化的測(cè)量
?能夠同時(shí)進(jìn)行表面分析
?在距離存在波動(dòng)的條件下提高測(cè)量穩(wěn)定性
?分析光學(xué)常數(shù)(n、k)
詳細(xì)參數(shù)
*1 當(dāng)以玻璃折射率 1.5 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*2 當(dāng)以玻璃折射率 3.67 進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)。
*3 這是轉(zhuǎn)換為硅折射率的計(jì)算值 (3.67)。
*4 測(cè)量 2 nm 厚玻璃薄膜時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)。
*5 取決于使用的光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大率。
*6 測(cè)量 30 μm 厚標(biāo)準(zhǔn)具時(shí)的標(biāo)準(zhǔn)偏差(容差)。
*7 VLSI 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件中記錄的測(cè)量保證范圍。
尺寸